廣州潽拓光電科技有限公司--愛(ài)發(fā)科真空泵維修;
市場(chǎng)主要磁懸浮分子泵生產(chǎn)商包括真空、Atlas(Edwards&Leybold)、大阪真空機器制造所、和等,按收入計,2021年大廠(chǎng)商占有大約%的市場(chǎng)份額。從產(chǎn)品泵速方面來(lái)看,低于1500升/秒占有重要地位,按收入計,2021年市場(chǎng)份額為%,預計2028年份額將達到%。同時(shí)就應用來(lái)看,半導體行業(yè)在2028年份額大約是%,未來(lái)幾年CAGR大約為%。
根據不同產(chǎn)品泵速,磁懸浮分子泵細分為:
低于1500升/秒
1500到3000升/秒
高于3000升/秒
根據不同應用,本文重點(diǎn)關(guān)注以下領(lǐng)域:
半導體行業(yè)
光伏行業(yè)
鍍膜行業(yè)
其他
渦輪分子泵的工作特性主要表現在以下幾個(gè)方面:
(1)抽速與轉速的關(guān)系抽速與轉速之間的關(guān)系大致為S(4-67)。其中:g是由幾何形狀決定的常數;u是活動(dòng)刀片的轉速。隨著(zhù)速度的增加,泵送速度比直線(xiàn)略慢。這可以通過(guò)在抽速較高時(shí)對進(jìn)氣管電導率的限制來(lái)解釋。根據(4-66),隨著(zhù)S1的增加,S將偏離直線(xiàn)。
廣州潽拓光電科技有限公司--愛(ài)發(fā)科真空泵出售;
廣州潽拓光電科技有限公司--愛(ài)發(fā)科真空泵維修;
磁場(chǎng)屏蔽出現的問(wèn)題
旋轉的轉子在磁場(chǎng)中產(chǎn)生渦電流,將使轉子發(fā)熱,將產(chǎn)生如下問(wèn)題:①、轉子與定子間隙越來(lái)越小,造成碎片;②、轉子溫升過(guò)大造成磁性電機轉子退磁;③、由于發(fā)熱會(huì )減弱鋁材料的強度,造成碎泵;④、轉子發(fā)熱,改變轉子和軸的相對位置,造成碎泵。分子泵在磁場(chǎng)中運轉時(shí),徑向和軸向磁場(chǎng)強度均不得大于30Gs。原則上,大于30Gs應使用導磁材料屏蔽。
分子泵啟動(dòng)的條件:①、啟動(dòng)條件:連接無(wú)誤、無(wú)漏、冷卻、潤滑、真空度②、啟動(dòng)時(shí)間:同時(shí)啟動(dòng)——小系統,防前級泵油上返。延遲啟動(dòng)——系統容積過(guò)大,先啟動(dòng)前級泵,至系統壓強P=200Pa時(shí),啟動(dòng)分子泵。從逆擴散型檢漏儀的檢漏過(guò)程出發(fā),通過(guò)實(shí)驗討論分子泵轉速對氦質(zhì)譜檢漏儀檢測結果的影響,并分析產(chǎn)生這種結果的原因。
分子泵是利用高速旋轉的轉子把動(dòng)量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。分子泵是獲得高真空和超高真空的關(guān)鍵設備之一。它被廣泛應用于電子工業(yè)、表面工程、核能工業(yè)、等離子體技術(shù)、薄膜工程等工業(yè)領(lǐng)域和研究部門(mén)。它操作簡(jiǎn)單、啟動(dòng)時(shí)間短,在分子流區域內對各種氣體的有效抽速幾乎不變,對分子量高的氣體壓縮比高,可以獲得清潔無(wú)油的高真空和超高真空環(huán)境。
廣州潽拓光電科技有限公司--愛(ài)發(fā)科真空泵出售;
廣州潽拓光電科技有限公司--愛(ài)發(fā)科真空泵維修;
我國是世界很大的半導體消費市場(chǎng),但產(chǎn)業(yè)鏈整體價(jià)值水平較低,尤其是關(guān)鍵材料與設備和零部件方面,存在較大國外品牌依賴(lài)。例如,薄膜沉積、刻蝕、離子注入等半導體制造中關(guān)鍵工藝過(guò)程部件——磁懸浮分子泵,長(cháng)期被國外壟斷。面對“卡脖子”問(wèn)題,公司積極響應國家需求,承擔科技部《極大規模集成電路制造技術(shù)及成套工藝》專(zhuān)項中“磁懸浮分子泵系列產(chǎn)品開(kāi)發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項目,多項關(guān)鍵技術(shù),于2011年成功研制國內臺磁懸浮分子泵,打破國外產(chǎn)品壟斷。
公司研制出新一代系列一體磁懸浮分子泵,以其優(yōu)越的性能,已廣泛應用于工業(yè)過(guò)程、鍍膜等領(lǐng)域,為半導體零部件國產(chǎn)化注入新活力。未來(lái),公司將繼續聚焦半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展需求,全力突破“卡脖子”技術(shù)難題,推動(dòng)半導體設備零部件國產(chǎn)化,為中國集成電路發(fā)展持續貢獻力量。
現今,越來(lái)越多地改用大型渦輪分子泵或低溫泵來(lái)代替油擴散泵系統,以防止油蒸汽的污染。因此,很近十幾年來(lái),渦輪分子泵在國內、外都得到了顯著(zhù)的改進(jìn)和發(fā)展。渦輪分子泵與油擴散泵相比具有啟動(dòng)快,有機蒸汽污染少和極限真空高等特點(diǎn).因此在氦質(zhì)譜檢漏儀中采用分子泵作為高真空系統,即使檢漏儀不用液氮冷阱,質(zhì)譜室也不致嚴重沾污,并能保持較低的本底或雜聲.這有利于氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度和穩定性的提高,并且延長(cháng)離子源的使用壽命.
廣州潽拓光電科技有限公司--愛(ài)發(fā)科真空泵出售;